Laser micro-etching of ferroelectric layers for insertion loss reduction of tunable resonators

Yonathan Corredores (1) , Quentin Simon (1, 2) , Lingyan Zhang (3) , Ratiba Benzerga (1) , Xavier Castel (1) , Ronan Sauleau (1) , Stéphanie Députier (2) , Paul Laurent (3) , Gérard Tanné (4) , Maryline Guilloux-Viry (2) , Kouroch Mahdjoubi (1)

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
2 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
3 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (UMR 3192)
4 Lab-STICC_UBO_MOM_DIM

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Yonathan Corredores, Quentin Simon, Lingyan Zhang, Ratiba Benzerga, Xavier Castel, et al.. Laser micro-etching of ferroelectric layers for insertion loss reduction of tunable resonators. JNTE 10 "Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micro-nanofabication", Nov 2010, Ecole Polytechnique, PALAISEAU, France. pp.We-E8. ⟨hal-00540610⟩