Dielectric oxynitride laTiOxNy thin films - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Dielectric oxynitride laTiOxNy thin films

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00606922 , version 1 (07-07-2011)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00606922 , version 1

Citer

Viet Hung Nguyen, Ahmed Ziani, Ratiba Benzerga, Claire Le Paven-Thivet, Didier Fasquelle, et al.. Dielectric oxynitride laTiOxNy thin films. European Materials Research Society - Spring Meeting 2011, May 2011, Nice, France. ⟨hal-00606922⟩
280 Consultations
0 Téléchargements

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More