Communication Dans Un Congrès
Année : 2011
Laurent Le Gendre : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-00606924
Soumis le : jeudi 7 juillet 2011-14:18:14
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-00606924 , version 1
Citer
Yu Lu, Claire Le Paven-Thivet, Ratiba Benzerga, Laurent Le Gendre, Ala Sharaiha, et al.. Homogeneity of oxynitride thin films deposited by reactive RF magnetron sputtering. European Materials Research Society - Spring Meeting 2011, May 2011, Nice, France. ⟨hal-00606924⟩
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