Substrate effect on BZN dielectric thin films grown by PLD for tunable devices

Arnaud Le Febvrier (1) , Yonathan Corredores (2) , Lingyan Zhang (3) , Stéphanie Députier (1) , Valérie Demange (1) , Valérie Bouquet (1) , Xavier Castel (2) , Ronan Lefort (4) , Gérard Tanné (5) , Maryline Guilloux-Viry (1)

1 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
3 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance (UMR 3192)
4 IPR - Institut de Physique de Rennes
5 Lab-STICC_UBO_MOM_DIM

Domaines: Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Arnaud Le Febvrier, Yonathan Corredores, Lingyan Zhang, Stéphanie Députier, Valérie Demange, et al.. Substrate effect on BZN dielectric thin films grown by PLD for tunable devices. E-MRS 2011 Spring Meeting "European Material Research Society", May 2011, NICE, France. ⟨hal-00630398⟩