Micro-fluidique et photo-lithographie : réalisation de micro-résonateurs 2D et 3D organiques en photonique intégrée

David Pluchon (1) , Nolwenn Huby (1) , Hervé Lhermite (2) , Alain Moréac (1) , Etienne Gaviot (3) , Pascal Panizza (1) , Bruno Bêche (1)

1 IPR - Institut de Physique de Rennes
2 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes
3 LAUM - Laboratoire d'Acoustique de l'Université du Mans

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Optique [physics.optics]

David Pluchon, Nolwenn Huby, Hervé Lhermite, Alain Moréac, Etienne Gaviot, et al.. Micro-fluidique et photo-lithographie : réalisation de micro-résonateurs 2D et 3D organiques en photonique intégrée. JNOG 2011, Jul 2011, Marseille, France. pp.100. ⟨hal-00655483⟩