Reactive sputtering deposition of perovskite oxide and oxynitride lanthanum titanium films: structural and dielectric characterization

Yu Lu (1) , Claire Le Paven-Thivet (1) , Viet Hung Nguyen (1, 2) , Ratiba Benzerga (1) , Laurent Le Gendre (1) , Franck Tessier (3) , François Cheviré (3) , Ala Sharaiha (1) , Christophe Delaveaud (2) , Xavier Castel (1) , Stéphanie Députier (3)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domaines: Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Yu Lu, Claire Le Paven-Thivet, Viet Hung Nguyen, Ratiba Benzerga, Laurent Le Gendre, et al.. Reactive sputtering deposition of perovskite oxide and oxynitride lanthanum titanium films: structural and dielectric characterization. E-MRS 2013 Spring Meeting "European Material Research Society", May 2013, STRASBOURG, France. ⟨hal-00846798⟩