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Conference papers
Functional dielectric oxide and oxynitride compounds in the perovskite La-Ti-O-N system: from thin film sputtering deposition to dielectric characterization
Claire Le Paven-Thivet
1
Laurent Le Gendre
1
Ratiba Benzerga
1
Yu Lu
1
Hung Nguyen
1, 2
Franck Tessier
3
François Cheviré
3
Stephane Rioual
4
Ala Sharaiha
1
Christophe Delaveaud
2
Xavier Castel
1
Hung Nguyen 1, 2
Author
Franck Tessier 3
Author IdHAL : franck-tessier ResearcherId : https://publons.com/researcher/2817642/franck-tessier/ ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1253-7011
François Cheviré 3
Author IdHAL : francois-chevire ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/I-2569-2015 IdRef : https://www.idref.fr/082987386 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5605-6113
Stephane Rioual 4
Author IdHAL : stephane-rioual ORCID : https://orcid.org/0000-0002-8797-5956
1
IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (Campus de Beaulieu Bâtiment 11D
263 Av.Général Leclerc-CS 74205
35042 Rennes Cedex - France)
- UN - Université de Nantes (1, quai de Tourville - BP 13522 - 44035 Nantes cedex 1 - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6164 (France)
2
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
3
ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes (Campus de Beaulieu - Bât. 10 Avenue du Général Leclerc 35042 Rennes Cedex - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Rennes (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6226 (France)
4
Laboratoire de Magnetisme de Brest (France)
- UBO - Université de Brest (Université de Bretagne Occidentale - 3 Rue des Archives 29238, Brest - France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-univ-rennes1.archives-ouvertes.fr/hal-00869754
Contributor : Ratiba Benzerga <>
Submitted on : Friday, October 4, 2013 - 9:53:12 AM
Last modification on : Wednesday, January 13, 2021 - 3:38:42 AM
Contributor : Ratiba Benzerga <>
Submitted on : Friday, October 4, 2013 - 9:53:12 AM
Last modification on : Wednesday, January 13, 2021 - 3:38:42 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-00869754, version 1
Collections
UNIV-NANTES | UNIV-RENNES1 | CNRS | SCR_VC | ISCR | IETR | IETR_MF | UNIV-BREST | CEA | INC-CNRS | DRT | UR1-UFR-SPM | UR1-UFR-ISTIC | IETR-CUTE | IETR-FUNMAT | IVER | LETI | UNIV-RENNES | INSA-GROUPE | CEA-GRE | INSA-RENNES
Citation
Claire Le Paven-Thivet, Laurent Le Gendre, Ratiba Benzerga, Yu Lu, Hung Nguyen, et al.. Functional dielectric oxide and oxynitride compounds in the perovskite La-Ti-O-N system: from thin film sputtering deposition to dielectric characterization. International Symposium on Inorganic and Environmental Materials 2013 (ISIEM 2013), Oct 2013, Rennes, France. ⟨hal-00869754⟩
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