Functional dielectric oxide and oxynitride compounds in the perovskite La-Ti-O-N system: from thin film sputtering deposition to dielectric characterization

Claire Le Paven-Thivet (1) , Laurent Le Gendre (1) , Ratiba Benzerga (1) , Yu Lu (1) , Hung Nguyen (1, 2) , Franck Tessier (3) , François Cheviré (3) , Stéphane Rioual (4) , Ala Sharaiha (1) , Christophe Delaveaud (2) , Xavier Castel (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
3 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
4 Laboratoire de Magnetisme de Brest

Domains: Engineering Sciences [physics]; Materials

Claire Le Paven-Thivet, Laurent Le Gendre, Ratiba Benzerga, Yu Lu, Hung Nguyen, et al.. Functional dielectric oxide and oxynitride compounds in the perovskite La-Ti-O-N system: from thin film sputtering deposition to dielectric characterization. International Symposium on Inorganic and Environmental Materials 2013 (ISIEM 2013), Oct 2013, Rennes, France. ⟨hal-00869754⟩