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Conference papers
Structural and dielectric characterization of perovskite oxide and oxynitride lanthanum titanium films deposited by reactive sputtering deposition
Claire Le Paven-Thivet
1
Yu Lu
1
Hung Nguyen
1, 2
Ratiba Benzerga
1
Laurent Le Gendre
1
Ala Sharaiha
1
Christophe Delaveaud
2
Xavier Castel
1
Franck Tessier
3
François Cheviré
3
Laurent Le Gendre 1
Author
Ala Sharaiha 1
Author
Christophe Delaveaud 2
Author
Xavier Castel 1
Author
Franck Tessier 3
Author IdHAL : franck-tessier ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/A-4007-2011 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1253-7011
François Cheviré 3
Author IdHAL : francois-chevire ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/I-2569-2015 IdRef : https://www.idref.fr/082987386 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5605-6113
1
IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (Campus de Beaulieu Bâtiment 11D
263 Av.Général Leclerc-CS 74205
35042 Rennes Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6164 (France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- UN - Université de Nantes (1, quai de Tourville - BP 13522 - 44035 Nantes cedex 1 - France)
2
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
3
ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes (Campus de Beaulieu - Bât. 10 Avenue du Général Leclerc 35042 Rennes Cedex - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- ENSCR - Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Rennes (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6226 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-univ-rennes1.archives-ouvertes.fr/hal-00869768
Contributor : Ratiba Benzerga <>
Submitted on : Friday, October 4, 2013 - 10:07:37 AM
Last modification on : Wednesday, April 7, 2021 - 3:18:06 PM
Contributor : Ratiba Benzerga <>
Submitted on : Friday, October 4, 2013 - 10:07:37 AM
Last modification on : Wednesday, April 7, 2021 - 3:18:06 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-00869768, version 1
Collections
UNIV-RENNES1 | CNRS | SCR_VC | UNIV-NANTES | ISCR | IETR | IETR_MF | CEA | INC-CNRS | DRT | UR1-UFR-SPM | UR1-UFR-ISTIC | IETR-CUTE | IETR-FUNMAT | IVER | LETI | UNIV-RENNES | INSA-GROUPE | CEA-GRE | INSA-RENNES
Citation
Claire Le Paven-Thivet, Yu Lu, Hung Nguyen, Ratiba Benzerga, Laurent Le Gendre, et al.. Structural and dielectric characterization of perovskite oxide and oxynitride lanthanum titanium films deposited by reactive sputtering deposition. 19th International Vacuum Congress (IVC-19), Sep 2013, Paris, France. ⟨hal-00869768⟩
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