Silicon nanowires synthesized by VLS technique in a V-shaped groove for gas sensing applications

Liang Ni (1) , Aurélie Girard (2) , Peng Zhang (1) , Emmanuel Jacques (1) , Régis Rogel (1) , Anne-Claire Salaün (1) , Laurent Pichon (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Liang Ni, Aurélie Girard, Peng Zhang, Emmanuel Jacques, Régis Rogel, et al.. Silicon nanowires synthesized by VLS technique in a V-shaped groove for gas sensing applications. European Material Research Society, Spring Meeting, May 2012, Strasbourg, France. pp.1. ⟨hal-00921600⟩