Fabrication et caractérisation électrique d'un capteur de gaz à base de nanofils de silicium suspendus - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

Fabrication et caractérisation électrique d'un capteur de gaz à base de nanofils de silicium suspendus

Domaines

Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Anne-Claire Salaün  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.science/hal-00921622

Soumis le : vendredi 20 décembre 2013-16:50:57

Dernière modification le : vendredi 24 mars 2023-14:52:58

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-00921622 , version 1 (20-12-2013)

Identifiants

  • HAL Id : hal-00921622 , version 1

Citer

Anne-Claire Salaün, Régis Rogel, Emmanuel Jacques, Laurent Pichon. Fabrication et caractérisation électrique d'un capteur de gaz à base de nanofils de silicium suspendus. Douzièmes journées pédagogiques du Comité National de Formation en Microélectronique, Nov 2013, St Malo, France. pp.85-89. ⟨hal-00921622⟩

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