Functional dielectric oxide and oxynitride perovskite thin films deposited by reactive magnetron sputtering

Claire Le Paven-Thivet (1) , Ratiba Benzerga (1) , Laurent Le Gendre (1) , Yu Lu (1) , Viet Hung Nguyen (1) , Franck Tessier (2) , François Cheviré (2) , Simon Jacq (1) , Stéphane Rioual (3) , Ala Sharaiha (1) , Christophe Delaveaud (4) , Xavier Castel (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
3 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance
4 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domaines: Matériaux

Claire Le Paven-Thivet, Ratiba Benzerga, Laurent Le Gendre, Yu Lu, Viet Hung Nguyen, et al.. Functional dielectric oxide and oxynitride perovskite thin films deposited by reactive magnetron sputtering. Microwave Materials and their Application (MMA 2014), Jun 2014, Boston, Idaho, United States. ⟨hal-01019911⟩