Dépôt et caractérisation diélectrique de couches minces d'oxydes et d'oxynitrures perovskites

Simon Jacq (1) , Claire Le Paven-Thivet (1) , Ratiba Benzerga (1) , Laurent Le Gendre (1) , Stéphane Traore Mantion (1) , Franck Tessier (2) , François Cheviré (2) , Ala Sharaiha (1) , Xavier Castel (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domaines: Matériaux

Simon Jacq, Claire Le Paven-Thivet, Ratiba Benzerga, Laurent Le Gendre, Stéphane Traore Mantion, et al.. Dépôt et caractérisation diélectrique de couches minces d'oxydes et d'oxynitrures perovskites. 13èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux (JCMM 2014), Mar 2014, Nantes, France. ⟨hal-01020057⟩