Perovskite ferroelectric oxides thin films for high frequency agile devices

Maryline Guilloux-Viry (1) , Fatou Cissé (2) , Anne Waroquet (1) , Arnaud Le Febvrier (1) , Valérie Bouquet (1) , Valérie Demange (1) , Stéphanie Députier (1) , Quentin Simon (2) , Yonathan Corredores (2) , Ratiba Benzerga (2) , Ronan Sauleau (2) , Xavier Castel (2)

1 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Domaines: Matériaux

Maryline Guilloux-Viry, Fatou Cissé, Anne Waroquet, Arnaud Le Febvrier, Valérie Bouquet, et al.. Perovskite ferroelectric oxides thin films for high frequency agile devices. WODIM 2014 "18ème Workshop on Dielectrics in Microelectronics", Jun 2014, Kinsale, Ireland. ⟨hal-01057044⟩