Caractérisation de couches minces ferroélectriques en topologie coplanaire

Kevin Nadaud (1) , Raphaël Gillard (1) , Caroline Borderon (1) , Erwan Fourn (1) , Raphaël Renoud (1) , Hartmut Gundel (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Résumé— Cette étude présente une nouvelle topologie de mesure pour la caractérisation des couches minces de forte permittivité. La structure de mesure est constituée d'une capacité coplanaire insérée entre deux lignes de transmis-sion. Cette méthode est utilisée ici pour la caractérisation de la permittivité et de l'accordabilité d'une couche mince ferroélectrique.

Mots clés: CPW; caractérisation; couche mince; ferroélectrique.

Domaines: Electronique

Kevin Nadaud, Raphaël Gillard, Caroline Borderon, Erwan Fourn, Raphaël Renoud, et al.. Caractérisation de couches minces ferroélectriques en topologie coplanaire. 13èmes Journées de Caractérisation Microondes et Matériaux, Mar 2014, Nantes, France. pp.24 - 26. ⟨hal-01092460⟩