Effect of reactive magnetron sputtering parameters on structural and dielectric properties of (Sr1-xLax)2(Ta1-xTix)2OpNq oxide and oxynitride thin films
Laurent Le Gendre
(1)
,
Simon Jacq
(1)
,
Claire Le Paven-Thivet
(1)
,
Ratiba Benzerga
(1)
,
Meriem Bouchilaoun
(1)
,
Stéphane Traore Mantion
(1)
,
Franck Tessier
(2)
,
François Cheviré
(2)
,
Ala Sharaiha
(1)
,
Xavier Castel
(1)
Laurent Le Gendre
- Fonction : Auteur
- PersonId : 834293
Claire Le Paven-Thivet
- Fonction : Auteur
- PersonId : 936698
Ratiba Benzerga
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Franck Tessier
- Fonction : Auteur
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- IdHAL : franck-tessier
- ORCID : 0000-0002-1253-7011
- IdRef : 082987459
François Cheviré
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- PersonId : 5145
- IdHAL : francois-chevire
- ORCID : 0000-0002-5605-6113
- IdRef : 082987386