Amélioration des performances électriques des transistors en couches minces (TFTs) à base de l'alliage Si Ge

Abdelkrim Fedala (1) , Khaled Belarbi (1) , Khalid Kandoussi (1) , Rabah Cherfi (1, 2) , Nathalie . Coulon (1) , Claude Simon (1) , Tayeb Mohammed-Brahim (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 Laboratoire de Physique des Matériaux

Domaines: Electronique; Micro et nanotechnologies/Microélectronique

Abdelkrim Fedala, Khaled Belarbi, Khalid Kandoussi, Rabah Cherfi, Nathalie . Coulon, et al.. Amélioration des performances électriques des transistors en couches minces (TFTs) à base de l'alliage Si Ge. 9ème Congrès National de la physique et de ses applications, Oct 2010, Ouargla, Algérie. ⟨hal-01121816⟩