Growth and characterization of ferroelectric thin films for high frequency agile devices

Maryline Guilloux-Viry (1) , Anne Waroquet (1) , Fatou Cissé (2, 1) , Arnaud Le Febvrier (1) , Valérie Demange (1) , Stéphanie Députier (1) , Valérie Bouquet (1) , Xavier Castel (2) , Ratiba Benzerga (2) , Ronan Sauleau (2) , Brice Gautier (3)

1 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
3 INL - DE - INL - Dispositifs Electroniques

Domaines: Matériaux; Micro et nanotechnologies/Microélectronique; Electromagnétisme

Maryline Guilloux-Viry, Anne Waroquet, Fatou Cissé, Arnaud Le Febvrier, Valérie Demange, et al.. Growth and characterization of ferroelectric thin films for high frequency agile devices. E-MRS 2015 Spring Meeting ‘European Material Research Society’, May 2015, Lille, France. 1 page. ⟨hal-01145795⟩