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Conference papers
Microfabricated test structures for thermal gas sensor
Matthieu Denoual
1
Mathieu Pouliquen
2
D. Robbes
1
O. de Sagazan
3
J. Grand
4
H. Awala
4
S. Mintova
4
S. Inoue
5
A. Mita-Tixier
5
Y. Mita
5
1
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072
GREYC - Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen
2
Equipe Automatique - Laboratoire GREYC - UMR6072
GREYC - Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen
Matthieu Denoual 1
Author IdHAL : matthieu-denoual ORCID : https://orcid.org/0000-0002-6845-3554
Mathieu Pouliquen 2
Author IdHAL : mathieu-pouliquen ORCID : https://orcid.org/0000-0002-2186-986X
D. Robbes 1
Author
O. de Sagazan 3
Author
A. Mita-Tixier 5
Author
Y. Mita 5
Author
1
Equipe Electronique - Laboratoire GREYC - UMR6072 (France)
- GREYC - Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (Boulevard du Maréchal Juin - 14050 CAEN Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6072 (France)
- ENSICAEN - École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (6, Boulevard du Maréchal Juin CS 45053 14050 CAEN cedex 04 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- UNICAEN - Université de Caen Normandie (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 CAEN Cedex 5 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
2
Equipe Automatique - Laboratoire GREYC - UMR6072 (France)
- GREYC - Groupe de Recherche en Informatique, Image et Instrumentation de Caen (Boulevard du Maréchal Juin - 14050 CAEN Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6072 (France)
- ENSICAEN - École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (6, Boulevard du Maréchal Juin CS 45053 14050 CAEN cedex 04 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- UNICAEN - Université de Caen Normandie (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 CAEN Cedex 5 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
3
IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (Campus de Beaulieu Bâtiment 11D
263 Av.Général Leclerc-CS 74205
35042 Rennes Cedex - France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- UN - Université de Nantes (1, quai de Tourville - BP 13522 - 44035 Nantes cedex 1 - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6164 (France)
4
LCS - Laboratoire catalyse et spectrochimie (6, boulevard du maréchal Juin 14050 CAEN CEDEX 4 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6506 / URA414 (France)
- ENSICAEN - École Nationale Supérieure d'Ingénieurs de Caen (6, Boulevard du Maréchal Juin CS 45053 14050 CAEN cedex 04 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
- INC - Institut de Chimie du CNRS (3 Rue Michel-Ange 75 016 Paris - France)
- UNICAEN - Université de Caen Normandie (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 CAEN Cedex 5 - France)
- NU - Normandie Université (Esplanade de la Paix - CS 14032 - 14032 Caen Cedex 5 - France)
5
UTokyo - The University of Tokyo (7 Chome-3-1 Hongo, Bunkyo, Tokyo 113-8654, Japon - Japan)
Abstract : Microfabricated test structures are presented for the proof validation of a new chemical sensor concept. The proposed detection principle is based on time constant shift of a thermal device covered with zeolites when target species are adsorbed. © 2016 IEEE.
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-univ-rennes1.archives-ouvertes.fr/hal-01368109
Contributor : Laurent Jonchère Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, September 19, 2016 - 10:21:50 AM
Last modification on : Thursday, January 20, 2022 - 12:54:12 PM
Contributor : Laurent Jonchère Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, September 19, 2016 - 10:21:50 AM
Last modification on : Thursday, January 20, 2022 - 12:54:12 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-01368109, version 1
- DOI : 10.1109/ICMTS.2016.7476165
Collections
UNIV-RENNES1 | IETR | CNRS | GREYC | UR1-MATH-STIC | GREYC-ELECTRONIQUE | UR1-UFR-ISTIC | COMUE-NORMANDIE | UNIV-RENNES | ENSICAEN | UNICAEN | LCS-CAEN | INSA-GROUPE | CENTRALESUPELEC | INSA-RENNES | UR1-MATH-NUM | INC-CNRS | UNIV-NANTES
Citation
Matthieu Denoual, Mathieu Pouliquen, D. Robbes, O. de Sagazan, J. Grand, et al.. Microfabricated test structures for thermal gas sensor. 29th IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures, ICMTS 2016, Mar 2016, Yokohama, Japan. pp.16--19, ⟨10.1109/ICMTS.2016.7476165⟩. ⟨hal-01368109⟩
Metrics
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