Optimisation technologique de transistors pour le développement de microcapteurs chimiques nano-fonctionnalisés

L. Donero (1, 2) , F. Le Bihan (2) , L. Le Brizoual (2) , Régis Rogel (2) , A.A. El Mel (1) , P.Y. Tessier (1)

1 IMN - Institut des Matériaux Jean Rouxel
2 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

Domaines: Micro et nanotechnologies/Microélectronique

L. Donero, F. Le Bihan, L. Le Brizoual, Régis Rogel, A.A. El Mel, et al.. Optimisation technologique de transistors pour le développement de microcapteurs chimiques nano-fonctionnalisés. JNRDM 2015, May 2015, Bordeaux, France. ⟨hal-01518080⟩