Microwave and radiofrequency dielectric properties of oxynitride perovskite thin films

Claire Le Paven (1) , Florent Marlec (1) , Ratiba Benzerga (1) , Laurent Le Gendre (1) , A. Ferri (2) , Didier Fasquelle (3) , Vincent Laur (4) , Franck Tessier (5) , François Cheviré (5) , Sébastien Saitzek (2) , Rachel Desfeux (2) , Xavier Castel (1) , Ala Sharaiha (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 UCCS Équipe Couches Minces & Nanomatériaux
3 UDSMM - Unité de Dynamique et Structure des Matériaux Moléculaires
4 Lab-STICC - Laboratoire des sciences et techniques de l'information, de la communication et de la connaissance
5 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domains: Engineering Sciences [physics]

Claire Le Paven, Florent Marlec, Ratiba Benzerga, Laurent Le Gendre, A. Ferri, et al.. Microwave and radiofrequency dielectric properties of oxynitride perovskite thin films. 9th International Symposium on Nitrides and Related Materials (ISNT2017), Aug 2017, Sapporo, Japan. ⟨hal-01588047⟩