Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films

Florent Marlec (1) , Laurent Le Gendre (1) , Claire Le Paven (1) , François Cheviré (2) , Ratiba Benzerga (1) , Franck Tessier (2) , M. Chevaucherie , Ala Sharaiha (1)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Domaines: Sciences de l'ingénieur [physics]

Florent Marlec, Laurent Le Gendre, Claire Le Paven, François Cheviré, Ratiba Benzerga, et al.. Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films. 9th International Symposium on Nitrides and Related Materials (ISNT2017), Aug 2017, Sapporo, Japan. ⟨hal-01588050⟩