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Journal articles
Mapping of mechanical strain induced by thin and narrow dielectric stripes on InP surfaces
Jean-Pierre Landesman
1, 2
Daniel Cassidy
2
Marc Fouchier
3
Christophe Levallois
4
Erwine Pargon
3
Névine Rochat
5
Merwan Mokhtari
1
Juan Jiménez
6
Alfredo Torres
6
Jean-Pierre Landesman 1, 2
Author IdHAL : jp-landesman
Daniel T Cassidy 2
Author
Marc Fouchier 3
Author
Christophe Levallois 4
Author IdHAL : christophe-levallois IdRef : https://www.idref.fr/120180545
Erwine Pargon 3
Author IdHAL : erwine-pargon ORCID : https://orcid.org/0000-0002-6337-9180
Névine Rochat 5
Author
Merwan Mokhtari 1
Author Employer institution : 3SP Technologies IdHAL : merwan-mokhtari ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1327-0088
Juan Jiménez 6
Author
Alfredo Torres 6
Author
1
IPR - Institut de Physique de Rennes (Bâtiment 11A , B, C, E – 10B
263 av. Général Leclerc
35042 Rennes cedex FRANCE - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6251 (France)
2
McMaster University [Hamilton, Ontario] (1280 Main Street West
Hamilton, Ontario L8S 4L8 - Canada)
3
LTM - Laboratoire des technologies de la microélectronique (LETI/DTS 17 rue des martyrs 38054 GRENOBLE CEDEX 9 - France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5129 (France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (CS 40700 - 38058 Grenoble cedex - France)
4
Institut FOTON - Institut des Fonctions Optiques pour les Technologies de l'informatiON (ENSSAT 6, rue de Kerampont CS 80518 22305 LANNION Cedex - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- ENSSAT - École Nationale Supérieure des Sciences Appliquées et de Technologie (6 rue de Kerampont - BP 80518 - 22305 Lannion Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6082 (France)
- UBL - Université Bretagne Loire (Cité Internationale, 1 place Paul Ricoeur - CS 54417 35044 RENNES CEDEX - France)
- IMT Atlantique - IMT Atlantique Bretagne-Pays de la Loire (Campus Brest : Technopôle Brest-Iroise CS 8381829238 BREST Cedex 3 -
Campus Nantes : 4, rue Alfred Kastler- La chantrerie 44300 NANTES -
Campus Rennes : 2 Rue de la Châtaigneraie, 35510 CESSON SEVIGNE - France)
- IMT - Institut Mines-Télécom [Paris] (37-39 Rue Dareau, 75014 Paris - France)
5
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
6
UVa - Universidad de Valladolid [Valladolid] (C/Plaza de Santa Cruz, 8, 47002 Valladolid - Spain)
Abstract : We investigated deformation of InP that was introduced by thin, narrow, dielectric SINx stripes on the (100) surface of InP substrates. Quantitative optical measurements were performed using two different techniques based on luminescence from the InP first, by degree of polarization of photoluminescence; and second, by cathodoluminescence spectroscopy. The two techniques provide complementary information on deformation of the InP and thus together provide a means to evaluate approaches to simulation of the deformation owing to dielectric stripes. Ultimately, these deformations can be used to estimate changes in refractive index and gain that are a result of the stripes. (C) 2018 Optical Society of America
Document type :
Journal articles
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-univ-rennes1.archives-ouvertes.fr/hal-01861356
Contributor : Laurent Jonchère <>
Submitted on : Friday, August 24, 2018 - 1:53:39 PM
Last modification on : Tuesday, October 6, 2020 - 4:30:04 PM
Contributor : Laurent Jonchère <>
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Last modification on : Tuesday, October 6, 2020 - 4:30:04 PM
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Identifiers
- HAL Id : hal-01861356, version 1
- DOI : 10.1364/OL.43.003505
- PUBMED : 30067695
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Citation
Jean-Pierre Landesman, Daniel Cassidy, Marc Fouchier, Christophe Levallois, Erwine Pargon, et al.. Mapping of mechanical strain induced by thin and narrow dielectric stripes on InP surfaces. Optics Letters, Optical Society of America - OSA Publishing, 2018, 43 (15), pp.3505. ⟨10.1364/OL.43.003505⟩. ⟨hal-01861356⟩
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