M. Rahman, J. Appl. Phys, vol.82, p.2215, 1997.

D. L. Green, E. L. Hu, P. M. Petroff, V. Liberman, M. Nooney et al., J. Vac. Sci. Technol, issue.11, pp.2249-192, 1993.

C. Chen, D. G. Yu, E. L. Hu, and P. M. Petroff, J. Vac. Sci. Technol., B, vol.14, p.3684, 1996.

M. Rahman, L. G. Deng, C. D. Wilkinson, J. A. Van-den, and . Berg, J. Appl. Phys, vol.89, p.2096, 2001.

J. P. Landesman, J. Jiménez, C. Levallois, F. Pommereau, C. Frigeri et al., J. Vac. Sci. Technol., A, vol.34, pp.41304-41305, 2016.

G. Morello, M. Quaglio, G. Meneghini, C. Papuzza, and C. Kompocholis, J.Vac. Sci. Tech. B, vol.24, issue.9, p.1811, 2004.

M. L. Biermann, D. T. Cassidy, T. Q. Tien, and J. W. Tomm, J. Appl. Phys, vol.101, pp.114512-114513, 2007.

M. Avella, J. Jiménez, F. Pommereau, J. P. Landesman, and A. Rhallabi, Appl. Phys. Lett, vol.93, pp.131913-131914, 2008.

G. D. Pitt, Solid State Comm, vol.8, p.1119, 1970.

S. M. Hu, J. Appl. Phys, vol.57, p.4661, 1979.

S. P. Timoshenko and J. N. Goodier, Theory of Elasticity, 1970.

I. D. Wolf, H. Maes, and S. K. Jones, J. Appl. Phys, vol.79, p.7148, 1996.