Realization of pressure Sensors using FET detection on a Thin Si Membrane - Université de Rennes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2010

Realization of pressure Sensors using FET detection on a Thin Si Membrane

Dates et versions

hal-00583980 , version 1 (07-04-2011)

Identifiants

Citer

Olivier de Sagazan, Emmanuel Jacques, Tayeb Mohammed-Brahim. Realization of pressure Sensors using FET detection on a Thin Si Membrane. 24th Eurosensor Conference, Sep 2010, Linz, Austria. pp.637-640, ⟨10.1016/j.proeng.2010.09.190⟩. ⟨hal-00583980⟩
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