Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films

Florent Marlec; Laurent Le Gendre; Claire Le Paven; François Cheviré; Ratiba Benzerga; Franck Tessier; M. Chevaucherie; Ala Sharaiha

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Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films

Florent Marlec ¹ Laurent Le Gendre ¹ Claire Le Paven ¹ François Cheviré ² Ratiba Benzerga ¹ Franck Tessier ² M. Chevaucherie Ala Sharaiha ¹

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes

2 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes

Florent Marlec ¹ AuthorId : 1411104

Auteur IdHAL : florent-marlec ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1431-7802

Laurent Le Gendre ¹ AuthorId : 111918

Auteur

Claire Le Paven ¹ AuthorId : 1237035

Auteur

François Cheviré ² AuthorId : 880679

Auteur IdHAL : francois-chevire ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/I-2569-2015 IdRef : https://www.idref.fr/082987386 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5605-6113

Ratiba Benzerga ¹ AuthorId : 128459

Auteur

Franck Tessier ² AuthorId : 194470

Auteur IdHAL : franck-tessier ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1253-7011

M. Chevaucherie AuthorId : 1616405
Auteur

Ala Sharaiha ¹ AuthorId : 80120

Auteur

1 IETR - Institut d'Electronique et de Télécommunications de Rennes (Campus de Beaulieu Bâtiment 11D 263 Av.Général Leclerc-CS 74205 35042 Rennes Cedex - France) StructId : 185974

UN - Université de Nantes (1, quai de Tourville - BP 13522 - 44035 Nantes cedex 1 - France) StructId : 93263
UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France) StructId : 105160
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France) StructId : 528860
INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France) StructId : 117606
- INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France) StructId : 528860
CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France) StructId : 411575
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6164 (France) StructId : 441569

2 ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes (Campus de Beaulieu - Bât. 10 Avenue du Général Leclerc 35042 Rennes Cedex - France) StructId : 194938

UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France) StructId : 105160
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France) StructId : 528860
INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France) StructId : 117606
- INSA - Institut National des Sciences Appliquées (France) StructId : 301232
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France) StructId : 528860
Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Rennes (France) StructId : 300373
CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6226 (France) StructId : 441569

Type de document :

Poster

9th International Symposium on Nitrides and Related Materials (ISNT2017), Aug 2017, Sapporo, Japan

Domaine :

Sciences de l'ingénieur [physics]

Liste complète des métadonnées

https://hal-univ-rennes1.archives-ouvertes.fr/hal-01588050
Contributeur : Ratiba Benzerga <>
Soumis le : vendredi 15 septembre 2017 - 08:33:23
Dernière modification le : mardi 26 février 2019 - 10:46:09

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HAL Id : hal-01588050, version 1

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Florent Marlec, Laurent Le Gendre, Claire Le Paven, François Cheviré, Ratiba Benzerga, et al.. Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films. 9th International Symposium on Nitrides and Related Materials (ISNT2017), Aug 2017, Sapporo, Japan. 〈hal-01588050〉

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