Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films

  Florent Marlec ¹ AuthorId : 1411104

Auteur IdHAL : florent-marlec ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1431-7802

  Laurent Le Gendre ¹ AuthorId : 111918

Auteur

  Claire Le Paven ¹ AuthorId : 1237035

Auteur

  François Cheviré ² AuthorId : 880679

Auteur IdHAL : francois-chevire ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/I-2569-2015 IdRef : https://www.idref.fr/082987386 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5605-6113 VIAF : https://viaf.org/viaf/205994875 ISNI : http://isni.org/isni/0000 0004 0088 1653

  Ratiba Benzerga ¹ AuthorId : 128459

Auteur

  Franck Tessier ² AuthorId : 194470

Auteur IdHAL : franck-tessier ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1253-7011

  M. Chevaucherie AuthorId : 1616405
Auteur

  Ala Sharaiha ¹ AuthorId : 80120

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