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Poster communications
Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films
Florent Marlec
1
Laurent Le Gendre
1
Claire Le Paven
1
François Cheviré
2
Ratiba Benzerga
1
Franck Tessier
2
M. Chevaucherie
Ala Sharaiha
1
Florent Marlec 1
Author IdHAL : florent-marlec ORCID : https://orcid.org/0000-0003-1431-7802
Laurent Le Gendre 1
Author
Claire Le Paven 1
Author
François Cheviré 2
Author IdHAL : francois-chevire ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/I-2569-2015 IdRef : https://www.idref.fr/082987386 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-5605-6113
Ratiba Benzerga 1
Author
Franck Tessier 2
Author IdHAL : franck-tessier ResearcherId : http://www.researcherid.com/rid/A-4007-2011 ORCID : https://orcid.org/0000-0002-1253-7011
M. Chevaucherie
Author
Ala Sharaiha 1
Author
1
IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique (Campus de Beaulieu Bâtiment 11D
263 Av.Général Leclerc-CS 74205
35042 Rennes Cedex - France)
- UN - Université de Nantes (1, quai de Tourville - BP 13522 - 44035 Nantes cedex 1 - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- CentraleSupélec (3, rue Joliot Curie, Plateau de Moulon, 91192 GIF-SUR-YVETTE Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6164 (France)
2
ISCR - Institut des Sciences Chimiques de Rennes (Campus de Beaulieu - Bât. 10 Avenue du Général Leclerc 35042 Rennes Cedex - France)
- UR1 - Université de Rennes 1 (2 rue du Thabor - CS 46510 - 35065 Rennes cedex - France)
- UNIV-RENNES - Université de Rennes (France)
- INSA Rennes - Institut National des Sciences Appliquées - Rennes (20, avenue des Buttes de Coësmes - CS 70839 - 35708 Rennes cedex 7 - France)
- ENSCR - Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Rennes (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6226 (France)
Document type :
Poster communications
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-univ-rennes1.archives-ouvertes.fr/hal-01588050
Contributor : Ratiba Benzerga <>
Submitted on : Friday, September 15, 2017 - 8:33:23 AM
Last modification on : Wednesday, April 7, 2021 - 3:18:09 PM
Contributor : Ratiba Benzerga <>
Submitted on : Friday, September 15, 2017 - 8:33:23 AM
Last modification on : Wednesday, April 7, 2021 - 3:18:09 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-01588050, version 1
Collections
UNIV-RENNES1 | CNRS | IETR | IETR_MF | UNIV-NANTES | ISCR | IETR-CUTE | IETR-FUNMAT | INC-CNRS | SCR_VC | UR1-UFR-SPM | UR1-UFR-ISTIC | IVER | UNIV-RENNES | INSA-GROUPE | CENTRALESUPELEC | INSA-RENNES
Citation
Florent Marlec, Laurent Le Gendre, Claire Le Paven, François Cheviré, Ratiba Benzerga, et al.. Study of the Post-nitridation of Strontium and Tantalum Based Oxide and Oxynitride Thin Films. 9th International Symposium on Nitrides and Related Materials (ISNT2017), Aug 2017, Sapporo, Japan. ⟨hal-01588050⟩
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